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微细加工是一种精密制造技术,涉及微小尺度上的材料去除和加工。该技术广泛应用于集成电路制造、生物医学工程、光学器件等领域。随着科技的进步,微细加工在纳米技术、微机械系统等领域的应用逐渐拓展,推动了微型器件、生物芯片等产...